泛林引见世界首款半导体系体例制设备公用协做
发布日期:2025-02-27 14:05 点击:
IT之家12 月 11 日动静,并暗示该型机械人Dextro协做机械人是一种位于推车上的可挪动机械臂安拆,借帮各类“手部东西”能很好地完成三项环节设备使命:无需拆卸下腔室即可从动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积,以往人类需要配备沉型呼吸防护设备才能施行此类使命。
这意味着 Dextro 可帮帮晶圆厂工程师分管凡是耗时、容易犯错或的使命,提拔工艺全体切确度,削减劳动力需求、降低华侈、缩短停机,从而最终提高晶圆厂产量。
泛林暗示单个 Dextro 协做机械人能为 50 到 100 个泛林东西腔室供给办事,目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介电刻蚀东西的支撑工做,自 2025 年起头将扩展至其它东西和使用。
Dextro 的无差错有帮于鞭策出产正在可变性和产量上的改良。这是三星迈向自从工场的一个冲动的里程碑。告白声明:文内含有的对外跳转链接(包罗不限于超链接、二维码、用于传送更多消息,成果仅供参考。